◎ 디실란(Disilane) 관용명 다이실란, 디실리콘에탄 (Disilicoethane), 디실리콘 헥사수소화물 (Disilicon hexahydride), 실리콘 수화물 (Silicon Hydride) 디실란(Si2H6)은 반도체 미세화 공정에 사용되는 가스로서, 박막 증착 시 저온에서 고속으로 균일한 막질을 형성하기 위한 용도로 사용된다. ◎ 디실란(Disilane) 특성 ◦ 공기 중에서 자연발화 ◦ 에탄과 같은 구조이며, 공기가 존재하지 않을 경우 100℃까지 안정, 200℃에서 각 성분으로 분리 ◦ 물과 서서히 반응하여 산화규소와 수소가 됨 ◦ 할로겐과 격렬하게 반응하며 모노실란과는 달리 사염화탄소, 클로로포름과도 격렬히 반응 ◎ 디실란(Disilane) 위험성 ◦ 공기 중에서 자연발화, 할로겐과..
