디실란(Disilane) / Si2H6 특성과 물리화학적 성질 및 위험성

 

◎ 디실란(Disilane) 관용명
다이실란, 디실리콘에탄 (Disilicoethane), 디실리콘 헥사수소화물 (Disilicon hexahydride), 실리콘 수화물 (Silicon Hydride)

 

 

디실란(Si2H6)은 반도체 미세화 공정에 사용되는 가스로서, 박막 증착 시 저온에서 고속으로 균일한 막질을 형성하기 위한 용도로 사용된다.

 

 

◎ 디실란(Disilane) 특성

 

디실란(Disilane) 물리화학적 성질

◦ 공기 중에서 자연발화 
◦ 에탄과 같은 구조이며, 공기가 존재하지 않을 경우 100℃까지 안정, 200℃에서 각 성분으로 분리 
◦ 물과 서서히 반응하여 산화규소와 수소가 됨 
◦ 할로겐과 격렬하게 반응하며 모노실란과는 달리 사염화탄소, 클로로포름과도 격렬히 반응

◎ 디실란(Disilane) 위험성
◦ 공기 중에서 자연발화, 할로겐과 격렬하게 반응하며 모노실란과는 달리 사염화탄소, 클로로포름과도 격렬히 반응, 물에 가수분해되어 수소와 붕산을 형성함.
◦ 눈, 피부, 호흡기 자극, 들숨(breath-in)시 인체 영향.
◦ 고농도에 노출 시 증상은 자료 불충분으로 알 수 없음.

◎ 디실란(Disilane) 응급조치
◦ 눈 : 렌즈착용자는 렌즈를 즉시 제거하고, 위·아래 눈꺼풀을 올려가면서 최소 15분 동안 물에 헹굼 
◦ 흡입 : 다량의 물을 마시고, 구토 유발. 단, 의식불명상태인 경우는 구토를 시키지 않음


◎ 디실란(Disilane) 혼합금지물질
염기, 할로겐, 할로탄소화합물, 산화제, 가연성 물질


◎ 디실란(Disilane) 화재진압요령
◦ 누출을 멈추게 할 수 없고 누출중인 가스에 불이 붙은 경우라면 화재진압을 시도하지 않을 것.
◦ 위험하지 않다면 용기를 화재지역으로부터 이동시킬 것, 다량의 물로 용기 냉각, 진화가 된 후에도 물분무기로 용기를 냉각 시킬 것.
◦ 물 분무하여 대기 중 증기발생 억제.

 

◎ 디실란(Disilane) 소화제
분말 소화약제, 이산화탄소, 분무 또는 무상주수


◎ 디실란(Disilane) 방재요령
◦ 가능하다면 누출용기를 돌려 액체보다는 가스로 방출되도록 할 것, 모든 점화원을 제거 할 것.
◦ 증기를 줄이거나 이동을 돌리기 위해 물 분무를 사용할 것.
◦ 유출물이 수로, 배수구 또는 밀폐된 장소로 들어가는 것을 방지할 것.
◦ 소화를 위해 제방을 쌓고 물을 수거.
◦ 물질 취급 시 모든 장비를 반드시 접지 할 것.


◎ 디실란(Disilane) 방재약품
물 분무


◎ 디실란(Disilane) 제독제
수중거품 탑을 이용한 연소법


◎ 디실란(Disilane) 응급조치
◦ 신선한 공기를 호흡할 수 있도록 환자를 옮길 것. 호흡이 곤란한 경우 호흡  보조 장치를 통해 산소를 공급해야 함. 따뜻하게 하고 안정을 유지.
◦ 동상이 발생한 경우 문지르거나 물로 세척하지 말 것. 오염 된 의복 및 신발을 제거하는 동안 다량의 물과 비누를 사용하여 최소 15분 정도 세척.
◦ 눈꺼풀을 위아래로 들어 올리면서 다량의 물로 최소 15분 동안 세척.


◎ 디실란(Disilane) 취급시 주의사항
◦ 물리적 손상을 입지 않도록 보호조치를 취할 것 .
◦ 용기는 서늘하고 건조한 곳에 보관하고 날씨 및 온도변화로부터 보호할 것.

 

 

소규모유출 : 초기이격거리 100m
대규모유출 : 초기이격거리 800m
화재발생 : 1.6 km

개인보호구
레벨A+양압의 SCBA(전면형)